Влияние анизотропии монокристаллического кремния на динамические характеристики микроэлектромеханических резонаторов

Киршина И.А., Окин П.А., Филонов О.М.
Влияние анизотропии монокристаллического кремния на динамические характеристики микроэлектромеханических резонаторов

Вид документа: Стаття періодичного видання
Рiк видання: 2014
Автор: Киршина И.А., Окин П.А., Филонов О.М. Авторський знак: К43 Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: С.51-56
Шифр: 621.396 УДК: 621.396

Аннотацiя:

микроэлектромеханический резонатор, чувствительность колебательной системы, динамические характеристики, монокристаллический кремний

Є складовою частиною документа: Известия высших учебных заведений Радиоэлектроника