Annealing effect on the microstructure and mechanical properties of a thin titanium nitride film

Her S.C., Wu C.L.
Annealing effect on the microstructure and mechanical properties of a thin titanium nitride film

Вид документа: Стаття періодичного видання
Рiк видання: 2014
Автор: Her S.C., Wu C.L. Вид автора: персона
Мова: Англійська Обсяг: C.66-72
Шифр: 539.4

Аннотацiя:

магнетронное напыление, нитрид-титановые пленки, отжиг, нано-индентирование

Є складовою частиною документа: Проблемы прочности