Analysis of fracture behavior of thin polycrystalline diamond films

Li D.S., Zuo D.W., Qin Q.N.
Analysis of fracture behavior of thin polycrystalline diamond films

Вид документа: Стаття періодичного видання
Рiк видання: 2014
Автор: Li D.S., Zuo D.W., Qin Q.N. Вид автора: персона
Мова: Англійська Обсяг: C.22-28
Шифр: 539.4

Аннотацiя:

тонкая кристаллическая алмазная пленка, разрушение, температура подложки, концентрация CH4, остаточное напряжение

Є складовою частиною документа: Проблемы прочности