Керамические фторидные мишени для магнетронного распыления, формируемые методом полусухого прессования с ваккумным уплотнением

Подденежный Е.Н., Бойко А.А.
Керамические фторидные мишени для магнетронного распыления, формируемые методом полусухого прессования с ваккумным уплотнением

Вид документа: Стаття періодичного видання
Автор: Подденежный Е.Н., Бойко А.А. Авторський знак: П44 Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: С.62
Шифр: 6 УДК: 6

Аннотацiя:

композиционные наноматериалы, металлические наночастицы, магниторезестивный эффект, фторидные мишени,

Є складовою частиною документа: Вестник Гомельского государственного технического университета им. П.О. Сухого