ЖДТУ Бібліотека Електронний каталог

Оксанич А.П., Седин Е.А. разработка технологии получения кремниевых эпитаксиальных структур с уменьшенной величиной концентрационной переходной области Вид документа: Стаття періодичного видання Автор: Оксанич А.П., Седин Е.А. Авторський знак: О-52 Вид автора: персона Мова: Російська Обсяг: C.100 Шифр: 621.396 УДК: 621.396 Аннотацiя: пиролиз, концентрация примеси, диффузия, силан, пониженное давлениев реакторе Є складовою частиною документа: Прикладная радиоэлектроника

Карта Сайту © Житомирський державний технологiчний університет