Метод и устройство измерения диаметра слитка GAAS в процессе выращивания методом с жидкостной герметизацией

Оксанич А.П., Притчин С.Э., Петренко В.Р.
Метод и устройство измерения диаметра слитка GAAS в процессе выращивания методом с жидкостной герметизацией

Вид документа: Стаття періодичного видання
Автор: Оксанич А.П., Притчин С.Э., Петренко В.Р. Авторський знак: О-52 Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: C.54
Шифр: 621.396 УДК: 621.396

Аннотацiя:

метод Чохральского с жидкостной герметизацией, арсенид галлия, измерение диаметра.

Є складовою частиною документа: Прикладная радиоэлектроника