Growth and structure of sputtered tib2 thin films

Hruba E., Valcuha S.
Growth and structure of sputtered tib2 thin films

Вид документа: Стаття періодичного видання
Автор: Hruba E., Valcuha S. Вид автора: персона
Мова: Англійська Обсяг: с.409
Шифр: 621 УДК: 621

Електронна версія документа: /e-copies/Zbirnyk/Process_obrobky_1/409.pdf