Теоретичне обгрунтування та експериментальне дослідження методу контролю щільності дислокацій у кремнієвих епітаксійних структурах

Оксанич А.П.
Теоретичне обгрунтування та експериментальне дослідження методу контролю щільності дислокацій у кремнієвих епітаксійних структурах

Вид документа: Стаття періодичного видання
Автор: Оксанич А.П. Авторський знак: О-52 Вид автора: персона
Мова: Українська Обсяг: С.120
Шифр: 539.218 УДК: 539.218

Електронна версія документа: /e-copies/VISNUK/15/120.pdf

Є складовою частиною документа: Вісник Житомирського державного технологічного університету