ЖДТУ
Бібліотека
Електронний каталог
Особенности получения тонких плёнок SiO2 методом быстрой термической обработки
Вид документа: Стаття періодичного видання
Рiк видання: 2001
Автор: Светличный А.М. Авторський знак: С24 Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: с.38
Шифр: 621.396.6 УДК: 621.396.6
Є складовою частиною документа: АО "Нептун" Технология и конструирование в электронной аппаратуре
| Карта Сайту © Житомирський державний технологiчний університет |