Ионное травление микроструктур

Данилин Б.С.. Киреев В.Ю.
Ионное травление микроструктур

Вид документа: Книга
Рiк видання: 1979 Мiсце видання: М. Видавництво: Сов. радио
Автор: Данилин Б.С.. Киреев В.Ю. Авторський знак: Д18 Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: 103с.
Шифр: 621.382 УДК: 621.382

Примірники

Місце збереження Кількість Видано

Абонемент 1 0