ЖДТУ Бібліотека Електронний каталог | |
Григорьянц В.В. СВЧ плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов Вид документа: Стаття періодичного видання Автор: Григорьянц В.В. Авторський знак: Г83 Вид автора: персона Мова: Російська Обсяг: С.39 Шифр: 681.7 УДК: 681.7.068 Є складовою частиною документа: Технология и конструирование в электронной аппаратуре | |
|