ЖДТУ Бібліотека Електронний каталог | |
Рогов Р.В. Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких плёнок Вид документа: Стаття періодичного видання Автор: Рогов Р.В. Авторський знак: Р59 Вид автора: персона Мова: Російська Обсяг: С.52 Шифр: 681.3 УДК: 681.3 Є складовою частиною документа: Технология и конструирование в электронной аппаратуре | |
|