Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники

Сазонов А.А., Корнилов Р.В., Кохан Н.П., Лукичев А.Ю., Осокин В.И.
Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники

Вид документа: Книга
Рiк видання: 1991 Мiсце видання: М. Видавництво: Высшая школа
Автор: Сазонов А.А., Корнилов Р.В., Кохан Н.П., Лукичев А.Ю., Осокин В.И. Авторський знак: А22 Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: 334с.
Шифр: 681.5(07) УДК: 681.5(07) ISBN: 5-06-000731-6

Примірники

Місце збереження Кількість Видано

Абонемент 2 0

Читальний зал 1 0