ЖДТУ
Бібліотека
Електронний каталог
Моделирование процессов бесконтактного химико-механического изготовления подложек полупроводников
Вид документа: Стаття періодичного видання
Автор: Григорьев Н.Н. Авторський знак: Г83 Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: с.36
Шифр: 621.396.6 УДК: 621.396.6
Є складовою частиною документа: АО "Нептун" Технология и конструирование в электронной аппаратуре
| Карта Сайту © Житомирський державний технологiчний університет |