Перспективні рішення щодо автоматизації методів вимірювання в нанометричному діапазоні

Павленко В.Я., Шорнікова С.В., Лук'янюк С.В., Чайковський С.Ю.
Перспективні рішення щодо автоматизації методів вимірювання в нанометричному діапазоні

Вид документа: Стаття періодичного видання
Рiк видання: 2021
Автор: Павленко В.Я., Шорнікова С.В., Лук'янюк С.В., Чайковський С.Ю. Авторський знак: П27 Вид автора: персона
Мова: Українська Обсяг: С.50-54
Шифр: 6 УДК: 6

Аннотацiя:

наноматеріали; нанометрологія; вимірювання розмірів; автоматизація; програмне забезпечення

Електронна версія документа: /e-copies/VISNUK/88_II/50.pdf

Є складовою частиною документа: Технічна інженерія