ЖДТУ
Бібліотека
Електронний каталог
Повышение эксплуатационных свойств тонкоплёночных кремнийсодержащих покрытий за счёт оптимизации работы системы газового питания плазмохимической установки
Вид документа: Стаття періодичного видання
Рiк видання: 2021
Автор: Голозубов А.Л. Авторський знак: Г61 Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: С.4-8
Шифр: 6 УДК: 6
| Аннотацiя: | тонкоплёночные кремнийсодержащие покрытия, плазмохимическая установка, плазмотрон |
Електронна версія документа: /e-copies/VISNUK/87_I/4.pdf
Є складовою частиною документа: Технічна інженерія| Карта Сайту © Житомирський державний технологiчний університет |