Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем

Пресс Ф.П.
Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем

Вид документа: Книга
Рiк видання: 1978 Мiсце видання: М. Видавництво: Сов. радио
Автор: Пресс Ф.П. Авторський знак: П73 Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: 96с.
Шифр: 621.382 УДК: 621.382

Примірники

Місце збереження Кількість Видано

Абонемент 2 0