Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем

Белов И.А., Шеленшкевич В.А., Шуб Л.И.
Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем

Вид документа: Книга
Рiк видання: 1991 Мiсце видання: Л. Видавництво: Политехника
Автор: Белов И.А., Шеленшкевич В.А., Шуб Л.И. Авторський знак: Б13 Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: 287с.
Шифр: 621.382.2 УДК: 621.382.2 ISBN: 5-7325-0001-4

Примірники

Місце збереження Кількість Видано

Абонемент 2 0

Читальний зал 1 0