Особливості виготовлення тест-об'єктів, як еталонних засобів калібрування та повірки зондів атомно-силової мікроскопії

Шевченко 0.1., Бондаренко М. 0.
Особливості виготовлення тест-об'єктів, як еталонних засобів калібрування та повірки зондів атомно-силової мікроскопії

Вид документа: Стаття періодичного видання
Рiк видання: 2020
Автор: Шевченко 0.1., Бондаренко М. 0. Вид автора: персона
Мова: Українська Обсяг: С.36-40
Шифр: 389 УДК: 389

Аннотацiя:

атомно-силова мікроскопія, зонди, повірочні схеми

Є складовою частиною документа: Метрологія та прилади