Моделирование процесса формирования тонких силицидных плёнок на кремнии при высокотемпературном отжиге

Левченко И.С.
Моделирование процесса формирования тонких силицидных плёнок на кремнии при высокотемпературном отжиге

Вид документа: Стаття періодичного видання
Автор: Левченко И.С. Авторський знак: Л38 Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: с.51-59
Шифр: 621.315 УДК: 621.315
Є складовою частиною документа: НАН Украины Проблемы управления и информатики