Технологические особенности изготовления СВЧ прибора с барьерами Шоттки

Дмитриев В.С., Дмитриева Л.Б., Швец Е.Я.
Технологические особенности изготовления СВЧ прибора с барьерами Шоттки

Вид документа: Стаття періодичного видання
Рiк видання: 2018
Автор: Дмитриев В.С., Дмитриева Л.Б., Швец Е.Я. Авторський знак: Д53 Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: С.108-116
Шифр: 621.396 УДК: 621.396

Аннотацiя:

барьер Шоттки, СВЧ прибор, арсенид галлия, эпитаксиальная пленка, травление, контракт

Є складовою частиною документа: Известия высших учебных заведений Радиоэлектроника