Измерение толщин тонких пленок методом спектральной интерферомерии

Лукин К.А., Татьянко Д.Н., Земляный О.В., Пих А.Б.
Измерение толщин тонких пленок методом спектральной интерферомерии

Вид документа: Стаття періодичного видання
Рiк видання: 2016
Автор: Лукин К.А., Татьянко Д.Н., Земляный О.В., Пих А.Б. Авторський знак: Л84 Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: С.350-354
Шифр: 621.396 УДК: 621.396

Аннотацiя:

спектральная интерферомерия, светодиод, пленки, волоконно- оптический интерферометр Фабри- Перо

Є складовою частиною документа: Прикладная радиоэлектроника