ЖДТУ
Бібліотека
Електронний каталог
Микронеоднородности поверхности ионнолегированного слоя кремния
Вид документа: Стаття періодичного видання
Автор: Викулин И.М. Авторський знак: В43 Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: с.55
Шифр: 621.382 УДК: 621.382
Є складовою частиною документа: АО "Нептун" Технология и конструирование в электронной аппаратуре
| Карта Сайту © Житомирський державний технологiчний університет |