Выбор консруктивных и функциональных параметров пневмовихревой центрифуги для механической обработки полупроводниковых пластин

Абрамов Г.В.
Выбор консруктивных и функциональных параметров пневмовихревой центрифуги для механической обработки полупроводниковых пластин

Вид документа: Стаття періодичного видання
Автор: Абрамов Г.В. Авторський знак: А16 Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: с.67
Шифр: 621.382 УДК: 621.382
Є складовою частиною документа: Машиностроение. Известия вузов