ЖДТУ
Бібліотека
Електронний каталог
Определение рациональных параметров устройств термообработки полупроводниковых пластин на несущей газовой прослойке
Вид документа: Стаття періодичного видання
Автор: Абрамов Г.В. Авторський знак: А16 Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: с.60
Шифр: 621.382 УДК: 621.382
Є складовою частиною документа: Машиностроение. Известия вузов
| Карта Сайту © Житомирський державний технологiчний університет |