Полирование элементов и подложек из монокристаллических материалов для оптоэлектроники

Филатов Ю.Д., Сидорко В.И., Филатов А.Ю., Ковалев С.В., Ветров А.Г., Сильченко Я.Л., Ковалев В.А., Данильченко М.А.
Полирование элементов и подложек из монокристаллических материалов для оптоэлектроники

Вид документа: Стаття періодичного видання
Рiк видання: 2015
Автор: Филатов Ю.Д., Сидорко В.И., Филатов А.Ю., Ковалев С.В., Ветров А.Г., Сильченко Я.Л., Ковалев В.А., Данильченко М.А. Авторський знак: Ф51 Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: С.132-138
Шифр: 621.7 УДК: 621.7

Аннотацiя:

полирование, шероховатость, монокристалл, карбид кремния, сапфир

Електронна версія документа: /e-copies/Zbirnyk/Process_obrobky_15/13.pdf

Є складовою частиною документа: Процеси механічної обробки в машинобудуванні