Використання методу сублімації для отримання діелектричних плівок AL2O3 на сталі 40х13

Дурягіна З.А., Підкова В.Я., Ольшевська С.О.
Використання методу сублімації для отримання діелектричних плівок AL2O3 на сталі 40х13

Вид документа: Стаття періодичного видання
Рiк видання: 2013
Автор: Дурягіна З.А., Підкова В.Я., Ольшевська С.О. Вид автора: персона
Мова: Українська Обсяг: С.85-88
Шифр: 658 УДК: 658

Аннотацiя:

метод сублімації, термічне випаровування, плівки оксиду алюмінію

Є складовою частиною документа: Вісник Національного університету "Львівська Політехніка"