Отримання слабколегованих кремнієм товстих шарів і-GaAs методом рідинно-фазної епітаксії

Ваків М.М., Круковський С.І., Тимчишин В.Р.
Отримання слабколегованих кремнієм товстих шарів і-GaAs методом рідинно-фазної епітаксії

Вид документа: Стаття періодичного видання
Рiк видання: 2013
Автор: Ваків М.М., Круковський С.І., Тимчишин В.Р. Вид автора: персона
Мова: Українська Обсяг: С.102-106
Шифр: 658

Аннотацiя:

легуввання, рідиннофазна епітаксія, дисилан, слабколеговані шари

Є складовою частиною документа: Вісник Національного університету "Львівська Політехніка"