Нечаева Н. Компоненты микросистемной техники и устройства на их основе
Вид документа: Стаття періодичного видання Автор: Нечаева Н. Авторський знак: Н59 Вид автора: персона Мова: Російська Обсяг: С.8 Шифр: 621.396 УДК: 621.396
Аннотацiя:
микросистемная техника, кремниевая технология, конструкционные свойства кремниевых элементов, конструкции гироскопов