Влияние обработок поверхности пластин SI на характеристики силових диодных структур, облученных электронами

Горбань А.Н.
Влияние обработок поверхности пластин SI на характеристики силових диодных структур, облученных электронами

Вид документа: Стаття періодичного видання
Автор: Горбань А.Н. Авторський знак: Г67 Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: С.23
Шифр: 621.396 УДК: 621.396
Є складовою частиною документа: Радіоелектроника. Інформатика. Управління