ЖДТУ
Бібліотека
Електронний каталог
Формирование куполов на поверхности кремния при последовательной имплантации ионов гелия и водорода
Вид документа: Стаття періодичного видання
Автор: Попов В.П. Авторський знак: П58 Вид автора: персона
Мова: Російська Обсяг: с.108
Шифр: 621.382 УДК: 621.382
Є складовою частиною документа: Автометрия
| Карта Сайту © Житомирський державний технологiчний університет |