Finishing of Rough Sidewalls of a Silicon-on-Insulator Nano-Optical Waveguide Using Laser Surface Melting

Peng Z.I. and Zhou C.G.
Finishing of Rough Sidewalls of a Silicon-on-Insulator Nano-Optical Waveguide Using Laser Surface Melting

Вид документа: Стаття періодичного видання
Рiк видання: 2021
Автор: Peng Z.I. and Zhou C.G. Вид автора: персона
Мова: Англійська Обсяг: C.132-139
Шифр: 539.4 УДК: 539.4

Аннотацiя:

rough sidewall, laser surface melting, finishing

Є складовою частиною документа: Проблеми міцності